全自動(dòng)四探針測試儀 型號(hào):RR11-FT-3110B

功能介紹
四點(diǎn)探針法、全自動(dòng)化運(yùn)行測量系統(tǒng)
PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理、ASTM方法
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調(diào)探針壓力、測試點(diǎn)數(shù)、多種模式
顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值
提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析

全自動(dòng)四探針測試儀 型號(hào):RR11-FT-3110B

適用范圍
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導(dǎo)體襯底電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；
表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；電極設(shè)計(jì)，如電鍍銅電阻測量等；
規(guī)格型號(hào) FT-3110B（可擴(kuò)展）
1.方塊電阻 10^-6～2×10^5Ω/□
2.電阻率 10-7～2×106Ω-cm
3.測試電流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
4.電阻精度 ≤0.3%（標(biāo)準(zhǔn)電阻）
5.PC軟件操作 PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報(bào)表生成等
6.壓力范圍 探針壓力可調(diào)范圍：100-500g
7.探針 鎢鋼材質(zhì)，探針間距1mm；機(jī)械游移率：≤0.3%；其他規(guī)格可定制
8.載臺(tái)類型及尺寸選購 選購1:圓形載臺(tái)晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）
選購2：方片載臺(tái)尺寸：153mm*153mm范圍內(nèi)定制規(guī)格
9.分析模式 單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測試
10.重復(fù)性 單點(diǎn)重復(fù)性：重復(fù)性≤0.5% 
11.防護(hù)功能 具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)
12.電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W